产品特性：
5轴全直驱，其中XYZ三轴为直线电机，A/C轴为直驱力矩电机
XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋转角度
优化的结构设计，高刚性
XYZ气冷设计，控制温升，重复定位精度可达±0.75um
XYZ轴最大速度1m/s,最大加速度3-4g
Z轴采用电磁弹簧设计，安全性高
5轴均内置高精度光栅尺反馈
典型应用领域：2D/3D高精度检测与测量
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型号：
简介：48×48mm尺寸。使用大字体白色PV显示，提高可视性。选择、操作及设定简便。实现输入输出
简介：5轴全直驱，其中XYZ三轴为直线电机，A/C轴为直驱力矩电机 XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋转角度 优化的结构设计，高刚性 XYZ气冷设计，控制温升，重复定位精度可达±0.75um XYZ轴最大速度1m/s,最大加速度3-4g Z轴采用电磁弹簧设计，安全性高
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产品特性：
5轴全直驱，其中XYZ三轴为直线电机，A/C轴为直驱力矩电机
XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋转角度
优化的结构设计，高刚性
XYZ气冷设计，控制温升，重复定位精度可达±0.75um
XYZ轴最大速度1m/s,最大加速度3-4g
Z轴采用电磁弹簧设计，安全性高
5轴均内置高精度光栅尺反馈
典型应用领域：2D/3D高精度检测与测量
