产品特性：
XY为超博直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um
Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺
最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平
典型应用领域：电子元器件精密装配/检测、晶圆检测
服务热线
189 5800 4050
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简介：XY为超博直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺 最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平
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产品特性：
XY为超博直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um
Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺
最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平
典型应用领域：电子元器件精密装配/检测、晶圆检测
