产品特性：
XY中空设计，Class100
XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨
XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um
T轴为高精度力矩电机，轴向/径向端跳＜3um，360度旋转
典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测/测试
服务热线
189 5800 4050
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型号：
简介：XY中空设计，Class100 XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um T轴为高精度力矩电机，轴向/径向端跳＜3um，360度旋转
详情介绍
产品特性：
XY中空设计，Class100
XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨
XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um
T轴为高精度力矩电机，轴向/径向端跳＜3um，360度旋转
典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测/测试
